科学研究

射频异质异构集成全国重点实验室

发布时间:2023-04-19

射频异质异构集成全国重点实验室经国家有关部委批准立项,由我校牵头建设,上海交通大学和中兴通讯股份有限公司参与共建。实验室在电子封装集成和射频电路系统领域主持了国家 973 计划、863 计划、重点研发计划、国家自然科学基金重点项目、杰出青年基金、创新群体、基础科学中心等数十个国家级重大重点项目研究,实验室已具备先进电子材料、器件、封装集成的工艺加工能力。团队相关成果于 2004 年获国家自然科学二等奖,2008 年获国家技术发明二等奖,2012 年获得国家科技进步二等奖。射频异质异构集成全国重点实验室已具备先进电子材料、器件、封装集成的工艺加工能力。实验室的扫描电子显微镜(SEM)、X 射线衍射(XRD)、X 射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)、气相色谱-质谱联用仪(GC-MS)、固体核磁共振(NMR)和透射电子显微镜(TEM)等分析仪器,能够及时快速地对封装材料进行化学结构、物理性质的表征,为半导体封装材料与先进集成工艺研究提供了重要的条件保障。

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